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美國INFICON氣體分析系統

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INFICON Transpector HPR氣體分析系統
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該INFICON Transpector HPR結合了Transpector RGA的高性能與校準參考，以執行工具診斷和監測的自動化工具。結合INFICON的強大功能FabGuard傳感器集成與分析系統，Transpector HPR具有自INFICON監控，以及監控的差異和缺陷的過程中工具的能力