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    美國Aalborg氣體質量流量計

    美國Aalborg Instruments Controls, Inc成立于1972年,是**上**的氣體質量流量計/控制器的生產廠家,其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學、石油化工、醫藥、環保等領域。
     
      產品特點:性價比高、響應速度快、可靠性高,易于集成、環路保護、備總量計數器
     
      典型應用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
     
      設計特點:
     -剛性金屬結構
    -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
    -*大壓力500psig(34.5Bar)
    -泄漏率1*10-7氦氣
    -NIST系統標定可追蹤的證明
    -可傾斜的LCD讀表
    -0-5Vdc或4-20mA信號輸出
    -電路保護
    -可用作便攜式的設備
    -0到100比例顯示
    -可配備流量計算機


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